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SYSTEMS AND METHODS FOR MEASURING SURFACE SHAPE
专利权人:
发明人:
申请号:
EP09701204.1
公开号:
EP2232198B1
申请日:
2009.01.08
申请国别(地区):
EP
年份:
2015
代理人:
摘要:
A system for determining a surface shape of a test object includes a pattern having a plurality of first elements dispose about a central axis and defining an aperture containing the central axis. The first elements includes a plurality of common elements having a common form and a reference element having a reference form that is different than the common form. The system further comprises a detector array and an optical system. The optical system is adapted to provide an image of the first elements when light reflects off a surface of a test object, passes through the aperture, and is received by the detector array. The reference form may be configured to facilitate an association between the common elements and the spot images of the common elements.Linvention concerne un système pour déterminer la forme de surface dun objet dessai qui comprend un motif ayant une pluralité de premiers éléments disposés autour dun axe central et définissant une ouverture contenant laxe central. Les premiers éléments comprennent une pluralité déléments communs ayant une forme commune et un élément de référence ayant une forme de référence qui est différente de la forme commune. Le système comporte en outre un réseau de capteurs et un système optique. Le système optique est conçu pour fournir une image des premiers éléments lorsque la lumière est réfléchie par la surface dun objet dessai, passe par louverture pour être reçue par le réseau de capteurs. La forme de référence peut être configurée pour faciliter une association entre les éléments communs et les images ponctuelles des éléments communs.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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