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HEAVY ION BEAM GENERATION DEVICE AND METHOD
专利权人:
TOSHIBA CORP;株式会社東芝
发明人:
SAKO TAKAYUKI,佐古 貴行,MIYAMOTO ATSUSHI,宮本 篤,SUMIYA AKIKO,角谷 晶子,NAKAYAMA KOICHI,中山 光一,SATO KIYOKAZU,佐藤 潔和,YOSHIYUKI KEN,吉行 健
申请号:
JP2016131944
公开号:
JP2018004455A
申请日:
2016.07.01
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heavy ion beam generation technique to stably generate a high-purity heavy ion beam with little inclusion of impurities.SOLUTION: A heavy ion beam generation device 10 includes: an ion source 11 for generating ions; a linear accelerator 12 for generating a heavy ion beam, linearly accelerating the ions; deflecting magnets 13 (13a,13b) for deflecting an orbits 15 (15a,15b) of the heavy ion beam; a film 16 provided in the linear accelerator 12 or between the linear accelerator 12 and the deflecting magnet 13a for giving an energy loss when the heavy ion beam is passing through.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】不純物の混入が少ない高純度の重イオンビームを安定的に生成する重イオンビーム生成技術を提供する。【解決手段】重イオンビーム生成装置10は、イオンを発生させるイオン源11と、イオンを線形加速して重イオンビームを生成する線形加速器12と、重イオンビームの軌道15(15a,15b)を曲げる偏向磁石13(13a,13b)と、線形加速器12の内部又は線形加速器12と偏向磁石13aとの間に設けられ重イオンビームが通過する際にエネルギー損失を付与する膜16と、を備える。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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