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高いＵＶ透過率および耐ソラリゼーション性を示す低ＣＴＥガラス
- 专利权人:
- ショット グラス テクノロジーズ （スゾウ） カンパニー リミテッドＳＣＨＯＴＴ ＧＬＡＳＳ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＩＥＳ （ＳＵＺＨＯＵ） ＣＯ．， ＬＴＤ．
- 发明人:
- ジュンミン シュエ,ウェンリアン ピン,フイヤン ファン,ホセ ツィマー,黒木 浩
- 申请号：
- JP20170538431
- 公开号：
- JP2018504356(A)
- 申请日:
- 2015.01.20
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 高いＵＶ透過率および高い耐ソラリゼーション性を示す低ＣＴＥガラス、この低ＣＴＥガラスから製造されたガラスキャリアウェハ、およびこのようなガラスキャリアウェハの使用。このガラスは、ＳｉＯ2５０〜７５ｍｏｌ％、Ａｌ2Ｏ3３〜２０ｍｏｌ％、Ｂ2Ｏ3５〜２０ｍｏｌ％、ＭｇＯ ０〜１５ｍｏｌ％、ＣａＯ ０〜１５ｍｏｌ％、ＳｒＯ ０〜１５ｍｏｌ％、およびＢａＯ ０〜１５ｍｏｌ％のアルカリ金属酸化物不含の組成を含み、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯは、３〜２５ｍｏｌ％であり、かつ多面体１つ当たりの非架橋酸素の平均数（ＮＢＯ）は、−０．０８以上でかつ−０．３８以下であるか、またはＳｉＯ2７８〜８５ｍｏｌ％、Ａｌ2Ｏ3０〜７ｍｏｌ％、Ｂ2Ｏ3８〜１５ｍｏｌ％、Ｎａ2Ｏ ０〜８ｍｏｌ％、およびＫ2Ｏ ０〜５ｍｏｌ％のア
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
