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UVおよびDUV拡張コールドミラー
专利权人:
コーニング インコーポレイテッド
发明人:
シュライバー,ホルスト,ワン,ジュエ
申请号:
JP20160549055
公开号:
JP2017510835(A)
申请日:
2015.01.29
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
拡張コールドミラーが提供される。このミラーは、基板と、基板上に堆積されたコーティングとを備えている。このコーティングは、低屈折率金属酸化物コーティング層および高屈折率金属酸化物コーティング層の少なくとも1つの周期を備えた、第1のコーティングスタックと、低屈折率金属フッ化物コーティング層および高屈折率金属酸化物コーティング層の少なくとも1つの周期を備えた、第2のコーティングスタックと、低屈折率金属フッ化物コーティング層および高屈折率金属フッ化物コーティング層の少なくとも1つの周期を備えた、第3のコーティングスタックとを含む。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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