UVおよびDUV拡張コールドミラー
- 专利权人:
- コーニング インコーポレイテッド
- 发明人:
- シュライバー,ホルスト,ワン,ジュエ
- 申请号:
- JP20160549055
- 公开号:
- JP2017510835(A)
- 申请日:
- 2015.01.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 拡張コールドミラーが提供される。このミラーは、基板と、基板上に堆積されたコーティングとを備えている。このコーティングは、低屈折率金属酸化物コーティング層および高屈折率金属酸化物コーティング層の少なくとも1つの周期を備えた、第1のコーティングスタックと、低屈折率金属フッ化物コーティング層および高屈折率金属酸化物コーティング層の少なくとも1つの周期を備えた、第2のコーティングスタックと、低屈折率金属フッ化物コーティング層および高屈折率金属フッ化物コーティング層の少なくとも1つの周期を備えた、第3のコーティングスタックとを含む。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心