VIÖL, Wolfgang,WIENEKE, Stephan,GREDNER, Alexander,FREIER, Daniel
申请号：
EP18759051.8
公开号：
EP3669621A1
申请日:
2018.08.08
申请国别(地区):
EP
年份:
2020
代理人:
摘要：
Ein Plasmageneratormodul (1) zum Generieren eines physikalischen Plasmas durch dielektrisch behinderte Entladung(27)bei Atmosphärendruck weist zwei linear langgestreckten Elektroden (16), von denen mindestens eine mit einer dielektrischen Abschirmung versehen ist unddie in einem seitlichen Elektrodenabstand(18)parallel zueinander verlaufen, Anschlusseinrichtungen zum Anschließen der Elektroden(16)an eine Hochspannungsquelle (24) und zwei flächigen Gasleitelementen zum Leiten von Arbeitsgas zwischen die Elektroden(16)auf.An mindestens eine der beiden Elektroden (16) grenzt auf ihrer der anderen Elektrode (16) abgekehrten Außenseite eine schlitzförmige Mündung (30) eines Absaugkanal (12) an. Der Absaugkanal (12) erstreckt sich auf einer Außenseite desan die mindestens eine der beiden Elektroden (16) anschließenden Gasleitelements über dieses Gasleitelement hinweg.In an array of a plurality of plasma generator modules for generating a physical plasma by dielectric barrier discharges at atmospheric pressure, each of the plasma generator modules comprises two parallel electrodes linearly extending at a lateral distance, one of which having a dielectric barrier； connection devices for connecting the electrodes to a high voltage source； two flat gas-conducting elements conducting a working gas between the electrodes； and a module housing delimiting the respective plasma generator module laterally along the electrodes and transversely to the electrodes. The module housings are fixed to one another or to a common module frame by means of fixation devices. The module housings are arranged side by side both in a first direction along and in a second direction transverse to the electrodes, and in such an offset way that the electrodes of the plasma generator modules partially overlap in the direction along the electrodes.L'invention concerne un module de génération de plasma (1) servant à générer un plasma physique par décharge à barrière diélectrique (27) à la pression atmosph
