Energy delivery devices and methods of treating tissue with high-frequency energy. The energy delivery device may include an applicator having an electrode and a substrate. The substrate may be composed of a ceramic material and may have a surface characterized by a variable thickness, such as a concave surface.L'invention concerne des dispositifs de distribution d'énergie et des procédés de traitement de tissu à l'aide d'une énergie haute fréquence. Le dispositif de distribution d'énergie peut comprendre un applicateur ayant une électrode et un substrat. Le substrat peut être composé d'un matériau en céramique et peut avoir une surface caractérisée par une épaisseur variable, telle qu'une surface concave.