位置ずれ検出装置、気相成長装置および位置ずれ検出方法
- 专利权人:
- 株式会社ニューフレアテクノロジー
- 发明人:
- 伊 藤 英 樹,早 野 貴 憲
- 申请号：
- JP20150196919
- 公开号：
- JP2017069519(A)
- 申请日:
- 2015.10.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ウエハ等の測定対象物の位置ずれを精度よく検出可能にする。【解決手段】位置ずれ検出装置は、測定対象物に対して光信号を出射する照射部と、測定対象物にて反射された光信号を受光する受光部と、受光部における光信号の受光位置が予め定めた第１受光範囲から外れているか否かを判定する第１受光範囲判定部と、第１受光範囲判定部にて外れていると判定されると、測定対象物が位置ずれを起こしたと判断する位置ずれ検出部と、を備える。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
