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Lasergetriebene Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung sowie -Verfahren
专利权人:
Japan Atomic Energy Agency
发明人:
Yasushi Iseki,Takeshi Yoshiyuki,Hiroyuki Daido,Masahiro Ikegami,Mamiko Nishiuchi,Akira Noda
申请号:
DE102009040031
公开号:
DE102009040031B4
申请日:
2009.09.03
申请国别(地区):
DE
年份:
2012
代理人:
摘要:
Eine lasergetriebene Teilchenstrahl-Bestrahlungsvorrichtung umfasst: einen Teilchenstrahlgenerator, der ein Target mit gepulstem Laserlicht bestrahlt, um einen lasergetriebenen Teilchenstrahl zu emittieren eine Strahlkonvergenzeinheit, die eine Transportbahn bildet, welche den emittierten lasergetriebenen Teilchenstrahl zu einem Gegenstand führt und dabei den lasergetriebenen Teilchenstrahl räumlich konvergiert einen Energieselektor, der eine Energie und eine Energiebreite des lasergetriebenen Teilchenstrahls auswählt eine Bestrahlungsmündung, die den lasergetriebenen Teilchenstrahl veranlasst, den Gegenstand abzutasten, um eine Bestrahlungsposition im Gegenstand einzustellen und eine Bestrahlungssteuerung, die den Betrieb des Teilchenstrahlgenerators, der Strahlkonvergenzeinheit, des Energieselektors und der Bestrahlungsmündung steuert. Die Strahlkonvergenzeinheit erzeugt ein Magnetfeld auf einer Trajektorie des lasergetriebenen Teilchenstrahls und konvergiert dabei den lasergetriebenen Teilchenstrahl durch das Magnetfeld, wobei das Magnetfeld divergierende Komponenten des lasergetriebenen Teilchenstrahls, die sich von einer Mitte der Trajektorie entfernen, zurück zur Mitte der Trajektorie zwingt.A laser driven particle beam - irradiating device comprises: a part of the same beam generator, which a target with pulsed laser light, in order to emit a laser driven particle beam a beam convergence unit, which forms a transport path, which the emitted laser driven particle beam leads to an article and in this case the laser driven particle beam converges spatially an energy selector, one of the energy and an energy width of the laser driven particle beam an irradiation mouth, which causes the laser driven particle beam, to scan the object, in order to adjust an irradiation position in the object and an exposure control, the operation of the part of the same beam generator, the beam convergence unit, of the energy and the irradiation of electronic controls the mouth. The
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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