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기준전극 및 이를 사용한 ISFET
专利权人:
KOREA ELECTRONICS TECHNOLOGY INSTITUTE
发明人:
LEE, Daesung,이대성,이대성,이대성,SHIN, Kyusik,신규식,신규식,신규식
申请号:
KRKR2013/006347
公开号:
WO2014/193030A1
申请日:
2013.07.16
申请国别(地区):
WO
年份:
2014
代理人:
摘要:
The present invention relates to a reference electrode, and provides a micro-reference electrode having a simple structure compared to a conventional liquid-filled Ag/AgCl reference electrode and used for a miniaturized electrochemical measurement sensor. In addition, provided is the reference electrode having a firm structure, which can be prevented from being separated from a wafer unlike a conventional thin film-type reference electrode. Furthermore, provided is the reference electrode to which a signal line is not directly connected but can be directly connected to the wafer. The reference electrode, according to the present invention, comprises: an electrode body having an electrolyte accommodating groove in the center portion of the upper surface thereof and to which the signal line for generating a potential is connected an electrode film formed on the upper surface of the electrode body and generating the potential through the signal line connected to the electrode body an inner electrolyte filled in the electrolyte accommodating groove so as to exchange ions with an outer electrolyte and an ion-exchange membrane covering the upper surface of the electrode body and connected with the outer electrolyte so as to exchange the ions between the outer electrolyte and the inner electrolyte.La présente invention concerne une électrode de référence et fournit une électrode de micro-référence ayant une structure simple par comparaison à une électrode de référence classique Ag/AgCl remplie de liquide et utilisée pour un capteur de mesure électrochimique miniaturisé. De plus, lélectrode de référence a une structure solide, et il est possible déviter quelle ne se séparate dune galette à linverse dune électrode de référence classique de type couche mince. De plus, une ligne de signal nest pas directement connectée à lélectrode de référence mais peut être directement connectée à la galette. Lélectrode de référence, selon la présente invention, comprend à: un corps délectro
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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