一种有源高密度电极阵列及其制备方法
- 专利权人:
- 上海大学
- 发明人:
- 茅帅帅,李俊,张建华,李泽文
- 申请号：
- CN201910485695.X
- 公开号：
- CN110200627A
- 申请日:
- 2019.05.06
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开一种有源高密度电极阵列及其制备方法,涉及电极阵列技术领域,该有源高密度电极阵列包括多个有源电极单元,且有源电极单元是采用金属氧化物薄膜晶体管的光刻技术,将电极和有源放大电路集成在柔性有源电极基底上形成的;所有有源电极单元采用矩阵式纵横排布方式组成有源高密度电极阵列,且有源高密度电极阵列的行数和列数相同。本发明能够将信号进行初步放大后再进行传输,改善信号传输过程中噪声的问题,提高信号质量。同时,该有源高密度电极阵列采用阵列排布方式,实现多通道的采集。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
