X射线探测器及其制作方法
- 专利权人:
- 发明人:
- 孟凡理,李泽源,陈江博,丁丁
- 申请号：
- CN202180001338.7
- 公开号：
- CN115699310A
- 申请日:
- 2021.05.31
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2023
- 代理人:
- 摘要：
- 本公开涉及一种X射线探测器，其中，包括衬底基板和设置于所述衬底基板上的多个探测单元，每个所述探测单元包括光转换元件和开关晶体管，所述光转换元件用于将光信号转换为电信号，所述开关晶体管用于将所述电信号输出至读取信号线，每个所述探测单元还包括位于所述探测单元的入光侧的辐射隔离结构，所述辐射隔离结构在所述衬底基板上的正投影完全覆盖所述开关晶体管在所述衬底基板上的正投影。本公开还涉及一种X射线探测器的制作方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
