KANG, SUNG GIL,강성길,LEE, HYUN WOOK,이현욱,WON, IM HEE,원임희,KIM, MYOUNG SOO,김명수,KANG, SUNG GILKR,LEE, HYUN WOOKKR,WON, IM HEEKR,KIM, MYOUNG SOOKR
申请号：
KR1020170001552
公开号：
KR1018028170000B1
申请日:
2017.01.04
申请国别(地区):
KR
年份:
2017
代理人:
摘要：
The present invention relates to a portable microwave plasma generator which includes a plurality of first internal conductors (20) for generating plasma in one external conductor (10), and thus can increase the intensity of the plasma without increasing the consumption of inert gas and the power consumption.본 발명은 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기에 관한 것으로, 한 개의 외부도체(10)에 플라즈마를 생성하는 다수개의 제1내부도체(20)가 구비된 것으로 불활성 가스의 소모량 및 소비전력의 큰 증가 없이 플라즈마의 세기를 증가시킬 수 있도록 된 것이다.
