This plasma irradiation device (100) is provided with: an irradiation tool (10) having a plasma generator and discharging a plasma generated by the plasma generator and/or an activated gas produced by the plasma； a supply unit (20) having a power supply part for supplying electricity to the plasma generator and adjusting the voltage, and a control part for controlling the power supply part； electrical wiring (40) electrically connecting the irradiation tool (10) and the supply unit (20)； and electromagnetic wave shielding materials covering the respective outer periphery of the irradiation tool (10), the supply unit (20), and the electrical wiring (40). The electromagnetic wave shielding material (50) covering the outer periphery of the electrical wiring (40) is flexible.La présente invention concerne un dispositif d'irradiation plasma (100) comportant : un outil d'irradiation (10) ayant un générateur de plasma et évacuant un plasma généré par le générateur de plasma et/ou un gaz activé produit par le plasma ； une unité d'alimentation (20) ayant une partie d'alimentation électrique destinée à fournir de l'électricité au générateur de plasma et à ajuster la tension, et une partie de commande destinée à commander la partie d'alimentation électrique ； un câblage électrique (40) connectant électriquement l'outil d'irradiation (10) et l'unité d'alimentation (20) ； et des matériaux de blindage contre les ondes électromagnétiques recouvrant la périphérie externe respective de l'outil d'irradiation (10), de l'unité d'alimentation (20) et du câblage électrique (40). Le matériau de blindage contre les ondes électromagnétiques (50) recouvrant la périphérie externe du câblage électrique (40) est souple.本発明のプラズマ照射装置（１００）は、プラズマ発生部を有し、プラズマ発生部にて発生したプラズマおよびプラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具（１０）と、プラズマ発生部に電気を供給し、かつ電圧を調整する給電部、および、給電部を制御する制御部を有する供給ユニット（２０）と、照射器具（１０）と供給ユニット（２０）を電気的に接続する電気配線（４０）と、照射器具（１０）、供給ユニット（２０）および電気配線（４０）の外周をそれぞれ覆う電磁波シールド材と、を備え、電気配線（４０）の外周を覆う電磁波シールド材（５０）は可撓性を有する。
