The present invention provides a filtration chamber comprising a microfabricated filter enclosed in a housing, wherein the surface of said filter and/or the inner surface of said housing are modified by vapor deposition, sublimation, vapor-phase surface reaction, or particle sputtering to produce a uniform coating； and a method for separating cells of a fluid sample, comprising: a) dispensing a fluid sample into the filtration chamber disclosed herein； and b) providing fluid flow of the fluid sample through the filtration chamber, wherein components of the fluid sample flow through or are retained by the filter based on the size, shape, or deformability of the components.La présente invention concerne une chambre de filtration comprenant un filtre microfabriqué renfermé dans un boîtier, la surface dudit filtre et/ou la surface interne dudit boîtier étant modifiées par dépôt en phase vapeur, sublimation, réaction de surface en phase vapeur ou pulvérisation de particules afin de produire un revêtement uniforme ； et un procédé de séparation de cellules d'un échantillon de fluide comprenant les étapes consistant à : a) introduire un échantillon de fluide dans la chambre de filtration décrite ici ； et b) faire passer un flux de fluide de l'échantillon de fluide à travers la chambre de filtration, les composants de l'échantillon de fluide traversant ou étant retenus par le filtre en fonction de la taille, de la forme et de la déformabilité des composants.
