ZIMMERMANN, Julia,CANTZLER, Sylvia,CANTZLER, Maximilian,WEILEMANN, Hannes,MORFILL, Gregor
申请号：
EP2019065582
公开号：
WO2019238870A1
申请日:
2019.06.13
申请国别(地区):
EP
年份:
2019
代理人:
摘要：
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Prüfen und/oder Überwachen einer Elektrodenanordnung (1) zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas, mit folgenden Schritten: Bestimmen von wenigstens einem eine Plasma-Leistung der Elektrodenanordnung (1) charakterisierenden Leistungs-Parameter； a) zeitliches Erfassen des wenigstens einen Leistungs-Parameters； und/oder b) Vergleichen des wenigstens einen Leistungs-Parameters mit wenigstens einem vorbestimmten Soll-Parameterwert, und Erhalten eines Vergleichsergebnisses； Beurteilen einer Funktion oder Funktionsfähigkeit der Elektrodenanordnung (1) anhand des Vergleichsergebnisses, und vorzugsweise Auswahlen von wenigstens einer Aktion in Abhängigkeit von dem Vergleichsergebnis.The invention relates to a method for inspecting and/or monitoring an electrode arrangement (1) for producing a non-thermal plasma, comprising the following steps: determining at least one plasma performance from the performance parameters characterising the electrode arrangement (1)； a) temporally detecting the at least one performance parameter； and/or b) comparing the at least one performance parameter with at least one pre-determined nominal parameter value, and obtaining a comparison result； evaluating a function or operability of the electrode arrangement (1) on the basis of the comparison result, and preferably selecting at least one action according to the comparison result.L'invention concerne un procédé de contrôle et/ou de surveillance d'un ensemble d'électrodes (1) pour la production d'un plasma non thermique, comprenant les étapes suivantes: détermination d'au moins un paramètre de puissance caractérisant une puissance de plasma de l'ensemble d'électrodes (1)； a) détection temporelle du ou des paramètres de puissance； et/ou b) comparaison du ou des paramètres de puissance à au moins une valeur de paramètre de consigne prédéfinie, et obtention d'un résultat de comparaison； évaluation d'une fonction ou d'une capacité de fonctionnement de l
