OKINAWA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY SCHOOL CORPORATION
发明人:
SOWWAN, Mukhles Ibrahim
申请号:
JPJP2015/000166
公开号:
WO2015/107901A1
申请日:
2015.01.15
申请国别(地区):
WO
年份:
2015
代理人:
摘要:
A porous film made of size-selected tantalum nanoparticles is formed on a substrate, the porous film having a graded oxidation profile perpendicular to a surface of the substrate.Selon linvention, un film poreux constitué de nanoparticules de tantale sélectionnées selon la taille est formé sur un substrat. Le film poreux présente un profil à gradient doxydation perpendiculaire à une surface du substrat.