Mn−Zn−O系スパッタリングターゲット及びその製造方法
- 专利权人:
- デクセリアルズ株式会社
- 发明人:
- 菅原 淳一,加守 雄一
- 申请号:
- JP20160147104
- 公开号:
- JP2018016837(A)
- 申请日:
- 2016.07.27
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】DCスパッタリングに供することができるMn−Zn−O系スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のMn−Zn−O系スパッタリングターゲットは、Mnと、Znと、Oと、元素X(ただし、XはWおよびMoからなる群より選択される1種単独または2種の元素である)と、を成分組成に含み、上記ターゲットの被スパッタリング面の算術平均粗さRaが1.5μm以下、または最大高さRyが10μm以下であることを特徴とする。【選択図】なし
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心