Ｍｎ−Ｚｎ−Ｏ系スパッタリングターゲット及びその製造方法
- 专利权人:
- デクセリアルズ株式会社
- 发明人:
- 菅原 淳一,加守 雄一
- 申请号：
- JP20160147104
- 公开号：
- JP2018016837(A)
- 申请日:
- 2016.07.27
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ＤＣスパッタリングに供することができるＭｎ−Ｚｎ−Ｏ系スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のＭｎ−Ｚｎ−Ｏ系スパッタリングターゲットは、Ｍｎと、Ｚｎと、Ｏと、元素Ｘ（ただし、ＸはＷおよびＭｏからなる群より選択される１種単独または２種の元素である）と、を成分組成に含み、上記ターゲットの被スパッタリング面の算術平均粗さＲａが１．５μｍ以下、または最大高さＲｙが１０μｍ以下であることを特徴とする。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
