Ｍｎ−Ｚｎ−Ｏ系スパッタリングターゲット及びその製造方法
- 专利权人:
- デクセリアルズ株式会社
- 发明人:
- 菅原 淳一,加守 雄一
- 申请号：
- JP20150217825
- 公开号：
- JP2017088932(A)
- 申请日:
- 2015.11.05
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】光情報記録媒体の記録層の形成に好適な成分組成を含む、ＤＣスパッタリングに供することができるＭｎ−Ｚｎ−Ｏ系スパッタリングターゲット及びその製造方法の提供。【解決手段】Ｍｎと、Ｚｎと、Ｏと、元素Ｘ（ただし、ＸはＷおよびＭｏから選択される１種単独または２種の元素である）と、を成分組成に含み、相対密度が９０％以上であり、かつ、比抵抗が１×１０-3Ω・ｃｍ以下であるＭｎ−Ｚｎ−Ｏ系スパッタリングターゲット。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
