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位置決め制御システムおよび周波数特性同定方法
专利权人:
国立大学法人 東京大学;株式会社日立製作所
发明人:
藤本 博志,小田井 正樹,伊藤 潔人
申请号:
JP20150113806
公开号:
JP2017004033(A)
申请日:
2015.06.04
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
【課題】位置決め制御の対象である移動体の位置決め精度をさらに向上する位置決め制御システムおよび周波数特性同定方法を提供する。【解決手段】位置決め対象である移動体が搭載され、駆動制御部90からの駆動電流指令に基づいて移動体を移動させる移動装置と、移動体と、座標の基準点となる校正マークとを含む画像を撮像する撮像装置60と、撮像装置からの画像データに基づいて、移動体と構成マークとの座標間隔を算出する画像処理部600とを有し、駆動電流指令が出力された時刻と駆動電流指令の値とを対応付けた第1の時系列データ、及び駆動電流指令が出力された時刻と画像処理部から出力される座標間隔とを対応付けた第2の時系列データをスペクトル解析して、位相特性およびゲイン特性を取得し、その位相特性およびゲイン特
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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