present invention, the unit ultrasonic probe, an ultrasound probe module and the ultrasound probe device. Unit ultrasonic probe according to the present invention includes a rear block portion, and the flexible substrate portion disposed on the upper surface of the rear block portion, wherein arranged on the upper surface of the flexible substrate portion, wherein the flexible substrate portion and electrically connected, is formed in a smaller size than said rear block portion, and a piezoelectric wafer for generating ultrasonic waves, the ultrasonic probe according to the present invention, increasing the number of the piezoelectric wafer in the horizontal direction, the unit includes a piezoelectric wafer ultrasonic since increasing the channel by stacking probe, price becomes complicated structure of the flexible substrate can be prevented to increase geometrically.本発明は、単位超音波プローブ、超音波プローブモジュール及び超音波プローブ装置に関する。本発明による単位超音波プローブは、後面ブロック部と、前記後面ブロック部の上面に配置される軟性基板部と、前記軟性基板部の上面に配置され、前記軟性基板部と電気的に接続され、前記後面ブロック部より小さいサイズで形成され、超音波を発生させる圧電ウェーハとを含み、本発明による超音波プローブは、横方向に圧電ウェーハの個数を増加させても、圧電ウェーハを含む単位超音波プローブを積層させてチャネルを増加させるので、軟性基板の構造が複雑になって価格が幾何級数的に増加することを防止することができる。
