The present invention relates to a plasma sterilizing device. The plasma sterilizing device according to the present invention comprises: a reaction chamber a vacuum forming unit connected to the reaction chamber and forming a vacuum state inside the reaction chamber a hydrogen peroxide supplying unit for supplying hydrogen peroxide in a gas state into the reaction chamber a microwave plasma generating unit for generating plasma by using microwaves and a gas circulating unit including a connecting pipe and a circulating pump connected to the reaction chamber, wherein the gas circulating unit circulates the gas inside the reaction chamber through the connecting pipe.La présente invention concerne un dispositif de stérilisation à plasma. Le dispositif de stérilisation à plasma selon la présente invention comprend : une chambre de réaction une unité de formation de vide raccordée à la chambre de réaction et formant un état de vide à lintérieur de la chambre de réaction une unité dalimentation de peroxyde dhydrogène pour alimenter du peroxyde dhydrogène dans un état gazeux dans la chambre de réaction une unité de génération de plasma micro-ondes pour générer un plasma au moyen de micro-ondes et une unité de circulation de gaz comprenant un tuyau de raccordement et une pompe de circulation raccordée à la chambre de réaction, lunité de circulation de gaz faisant circuler le gaz à lintérieur de la chambre de réaction par lintermédiaire du tuyau de raccordement.본 발명은 플라즈마 멸균 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 플라즈마 멸균 장치는, 반응 챔버 상기 반응 챔버와 연결되고, 상기 반응 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공 형성부 상기 반응 챔버에 기체 상태의 과산화수소를 제공하는 과산화수소 공급부 마이크로웨이브를 이용하여 플라즈마를 발생시키는 마이크로웨이브 플라즈마 발생부 및 상기 반응 챔버에 연결된 연결 배관 및 순환 펌프를 포함하는 가스 순환부 를 포함하고, 상기 가스 순환부는 상기 반응 챔버 내의 가스를 상기 연결 배관을 통하여 순환시킨다.
