PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic irradiation apparatus constituted so as to suppress the generation of unnecessary cavitation.SOLUTION: An ultrasonic wave ejection part 112 is driven on the basis of the drive signal formed by a drive signal setting part 140 by a drive part 150 to emit ultrasonic waves having drive frequency. An ultrasonic wave receiving part 114 receives the ultrasonic waves arriving from the emitting direction of the ultrasonic waves. The signal received by the ultrasonic wave receiving part 114 acquires the frequency and intensity of sonic waves of a low frequency component lower than the drive frequency by the low frequency filter 122 and peak component detection part 124 in a low frequency signal detection part 120. A comparison part 126 determines whether a cavitation air bubble group is generated on the basis of the obtained frequency and intensity of the low frequency component. If the cavitation air bubble group is generated, an irradiation condition altering part 130 allows the drive signal setting part 140 to alter the drive signal. By this constitution, the ultrasonic irradiation apparatus 100 prevents the generation of the cavitation air bubble group.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】不要なキャビテーションの発生を抑制する超音波照射装置を提供する。【解決手段】超音波射出部112は、駆動信号設定部140によって作成された駆動信号に基づき、駆動部150によって駆動され、駆動周波数を有する超音波を射出する。超音波受信部114は、前記超音波の射出方向から到来する超音波を受信する。超音波受信部114が受信した信号は、低周波信号検出部120内の低周波フィルタ122とピーク成分検出部124とによって、駆動周波数よりも低い低周波成分の音波の周波数と強度とを取得する。比較部126は、取得した低周波成分の音波の周波数と強度とに基づいて、キャビテーション気泡群が発生したか否かを判定する。キャビテーション気泡群が発生したら、照射条件変更部130は、駆動信号設定部140に駆動信号を変更させる。このようにして超音波照射装置100は、キャビテーション気泡群の発生を防止する。【選択図】図1
