And source (172), a beam deflecting element (112), configured positioned so as to output a plurality of output signals sensitive detectors and (122), to receive one of the detector output signal and a respective linked plurality of composite transimpedance amplifier (see FIG. 11) to, discloses a sequential wavefront sensor. The output of each composite transimpedance amplifier is phase-locked to the light source drive signal and the beam deflection element driving signal.光源(172)と、ビーム偏向素子(112)と、複数の出力信号を出力するように構成された位置感知検出器(122)と、検出器出力信号のうちの1つを受け取るように各々連結された複数の複合トランスインピーダンス増幅器(図11参照)とを含む、シーケンシャル波面センサーを開示する。各複合トランスインピーダンス増幅器の出力は、光源駆動信号およびビーム偏向素子駆動信号に位相ロックされている。
