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METHOD OF MANUFACTURING GAS CELL AND METHOD OF MANUFACTURING MAGNETIC MEASURING DEVICE
专利权人:
SEIKO EPSON CORP;セイコーエプソン株式会社
发明人:
FUJII EIICHI,藤井 永一
申请号:
JP2016125212
公开号:
JP2017227584A
申请日:
2016.06.24
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing gas cell capable of improving the vacuum in the cell by preventing invasion of gas generated from sealing member, and a method of manufacturing magnetic measuring device.SOLUTION: The method of manufacturing a gas cell 10 includes: a first step in which, after placing a lid 19 applied with sealing member 30 and a cell 12 having an opening 18 sealed with a temporary plug 36 in a vacuumed sealing device 38, the lid 19 is heated; a second step in which the temporary plug 36 is removed from the cell 12 in the sealing device 38; and a third step in which, after disposing the lid 19 to the opening 18 in the sealing device 38, the lid 19 is heated to join the sealing member 30 via the cell 12 to seal the opening 18.SELECTED DRAWING: Figure 7COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】封止部材から発生したガスの侵入を抑止してセル内の真空度を向上できるガスセルの製造方法および磁気計測装置の製造方法を提供する。【解決手段】ガスセル10の製造方法は、封止部材30を塗布したリッド19と開口18を有し開口18を仮栓36で封止したセル12とを減圧した封止装置38の内部に配置し、リッド19を加熱する第1工程と、封止装置38の内部においてセル12から仮栓36を外す第2工程と、封止装置38の内部においてリッド19を開口18に配置し、リッド19を加熱して封止部材30を介してセル12と接合し、開口18を封止する第3工程と、を含むことを特徴とする。【選択図】図7
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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