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磁気計測装置の製造方法、ガスセルの製造方法、磁気計測装置、およびガスセル
专利权人:
SEIKO EPSON CORP
发明人:
FUJII EIICHI,藤井 永一
申请号:
JP2014210521
公开号:
JP2016080459A
申请日:
2014.10.15
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic measuring device manufacturing method and a gas cell manufacturing method that enable small gas cells using small ampoules to be steadily manufactured, and a magnetic measuring device and a gas cell as such.SOLUTION: A manufacturing method for a magnetic measuring device 100 comprises a first step of placing in a gap of a gas cell 10 made up of quartz glass an ampule 20 made up of borosilicate glass and filled with alkali metal solid 24 in its hollow part to seal the gas cell 10 and irradiating the ampule 20 with a pulse laser beam 40 of a first intensity level to injure the upper face of the ampule 20, and a second step of irradiating the ampule 20 with the pulse laser beam 40 of a second intensity level to form a through hole 21 in the ampule 20. The pulse laser beam of the first intensity level is weaker than the pulse laser beam of the second intensity level.SELECTED DRAWING: Figure 4COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】小型のアンプルを用いた小型のガスセルを安定的に製造することができる磁気計測装置の製造方法、ガスセルの製造方法、磁気計測装置、およびガスセルを提供する。【解決手段】磁気計測装置100の製造方法は、石英ガラスからなるガスセル10の空隙に、ホウ珪酸ガラスからなり中空部にアルカリ金属固体24が充填されたアンプル20を配置し、ガスセル10を密封する工程と、アンプル20にパルスレーザー光40を第1強度で照射して、アンプル20の上面を傷つける第1工程と、アンプル20にパルスレーザー光40を第2強度で照射して、アンプル20に貫通孔21を形成する第2工程とを含み、第1強度のパルスレーザー光は第2強度のパルスレーザー光よりも弱いことを特徴とする。【選択図】図4
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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