While it is open to the environment is controlled, buffer solution container in a plurality is controlled and adjusted by exposing the container. In particular, while it is open to the carbon dioxide controlled environment in the process chamber, inventory of the container holding the bicarbonate buffer is adjusted to a pH that is precisely controlled by exposing the container . Typically the pressure in the chamber, temperature, carbon dioxide (CO 2) and level, the relative humidity is controlled to a level that is selected to provide a target pH of the equilibration buffer.複数の容器内の緩衝剤溶液は、制御された環境に開放されている間、容器を露出することによって調節および制御可能である。特に、重炭酸塩緩衝剤を保持する容器の在庫品は、処理チャンバ内の制御された二酸化炭素環境に開放されている間、容器を露出することによって精密に制御されたpHに調節可能である。チャンバ内の圧力、温度、二酸化炭素(CO2)レベル、および一般的には、相対湿度が、緩衝剤の標的平衡pHを提供するように選択されたレベルに制御される。
