PROBLEM TO BE SOLVED: To solve problems that in stitching processing of plural images, when change of a pixel value is insufficient in an overlapping region, accuracy of positioning is reduced.SOLUTION: An image generation device comprises: first scanning means for scanning a laser beam in a first direction on an inspected object second scanning means for scanning the laser beam in a second direction orthogonal to the first direction means for setting a first imaging region, and a second imaging region adjacent to the first imaging region in the second direction means for determining an imaging order for executing first imaging for imaging the first imaging area, second imaging for continuously controlling the second scanning means to regions formed by combining the first and second imaging regions, and third imaging for imaging the second imaging region control means for controlling the first and second scanning means according to the imaging order and acquisition means for, based on the laser beams scanned by control of the control means, acquiring a first image in the first imaging, a second image in the second imaging, and a third image in the third imaging.SELECTED DRAWING: Figure 3COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】 複数画像のスティッチング処理において、重複領域内に十分な画素値の変化がない場合、位置合わせの精度が低下する。【解決手段】 被検査物上で第1の方向にレーザを走査させる第1の走査手段と、第1の方向に直交する第2の方向にレーザを走査させる第2の走査手段と、第1の撮影領域、及び、第1の撮影領域に第2の方向に隣接する第2の撮影領域を設定する手段と、第1の撮影領域を撮影する第1の撮影と、第1と第2の撮影領域とを合わせた領域に対して第2の走査手段を連続的に制御させる第2の撮影と、第2の撮影領域を撮影する第3の撮影を実行する撮影手順を決める手段と、撮影手順に従って第1と第2の走査手段を制御する制御手段と、制御手段の制御により走査されたレーザに基づき、第1の撮影で第1の画像、第2の撮影で第2の画像、及び、前記第3の撮影で第3の画像を取得する取得手段とを備える。【選択図】 図3
