高效熏蒸剂发生及输配装置

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专利权人:

沈美庆;王军;周强

发明人:

沈美庆,王军,周强

申请号：

CN00200474.7

公开号：

CN2402144Y

申请日:

2000.01.13

申请国别(地区):

中国

年份:

2000

代理人:

摘要：

一种高效熏蒸发生器及输配装置,具有PH₃计量发生器定容稀释输配器在线检测与实时控制器,其中:所述的PH₃计量发生器由计量泵反应器构成,所述的定容稀释输配器由过滤器混合器文丘里管抽气泵构成,所述的在线检测与实时控制器由中央控制处理器构成;其中,所述的PH₃计量发生器中的反应器通过反应器管与所述的定容稀释输配器中的过滤器混合器的混合器接口相连接;所述的在线检测与实时控制器的信号端子分别与PH₃计量发生器定容稀释输配器中的信号端口相连接。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/