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一种基于粗糙面反射率谱反演材料复折射率的方法
- 专利权人:
- 西安电子科技大学
- 发明人:
- 牟媛,吴振森,阳志强,曹运华
- 申请号：
- CN201611080606.6
- 公开号：
- CN106596469A
- 申请日:
- 2016.11.30
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 赵永伟
- 摘要：
- 一种基于反射率谱反演粗糙面复折射率的方法，利用傅里叶光谱仪，测量三种以上不同粗糙表面的样片反射率谱；利用远红外椭偏仪，测量抛光定标板的复折射率精确解；利用遗传算法计算粗糙样片的表面均方根高度；结合菲涅尔反射系数的基尔霍夫近似，获得均方根高度的平方与反射率自然对数的线性关系；使用最小二乘法，数值计算光滑表面的反射率谱，与抛光定标板的反射率谱相吻合。以椭偏仪测量的复折射率作为实验初值，采用KK理论，根据光滑表面的反射率谱反演材料的复折射率，反演结果与椭偏仪测量结果吻合。该方法适用于表面粗糙样片的复折射率提取，测量范围宽，克服了实验系统操作复杂，测量频点有限以及样片工艺严格等缺点。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
