The present invention is to eliminate the need for maintenance replacement of the ceramic window by preventing the multi-factor generated on the vacuum side surface of the ceramic window in the high-frequency coupler to prevent damage to the ceramic window. To this end, in the present invention, a magnetic field is formed to cross the high frequency coupler to form a kind of virtual shielding wall parallel to the vacuum side surface of the ceramic window. Secondary electrons emitted from the ceramic window are accelerated by the applied high-frequency electric field, rotate with a Larmor radius, and are constrained by the magnetic field. Since the secondary electrons emitted from the ceramic window are trapped in the virtual shielding wall and do not collide with the ceramic window, the secondary electron emission coefficient is reduced to less than 1, so that multi-factoring can be prevented. According to the present invention, by reducing the multi-factoring phenomenon of the ceramic window, it is possible to reduce the high-frequency conditioning time and increase the operating life of the high-frequency coupler.본 발명은 고주파 결합기 내의 세라믹 창의 진공 측 표면에서 발생하는 멀티팩팅을 방지하여 세라믹 창의 파손을 막음으로써 세라믹 창의 정비 교체 필요성을 없애기 위한 것이다. 이를 위해, 본 발명에서는 고주파 결합기를 가로지르도록 자기장을 형성하여 세라믹 창의 진공측 표면과 평행한 일종의 가상 차폐벽을 형성한다. 세라믹 창에서 방출되는 2차전자는 인가된 고주파 전기장에 의해 가속되며, 라머 반지름(Larmor radius)을 가지고 회전운동을 하며 자기장에 구속된다. 세라믹 창에서 방출된 2차전자가 가상 차폐벽에 갇히게 되어 세라믹 창에 재충돌하지 않으므로 2차전자 방출계수는 1이하로 줄어들어 멀티팩팅이 방지될 수 있다. 본 발명에 따르면, 세라믹 창의 멀티팩팅 현상을 줄임으로써 고주파 컨디셔닝(conditioning) 시간을 줄이고 고주파 결합기의 운전 수명을 늘릴 수 있다.
