PURPOSE: A medical plasma sterilization apparatus using microwaves is provided to effectively sterilize a treating object by generating OH radicals. CONSTITUTION: A medical plasma sterilization apparatus comprises a sterilization reactor(110), a vacuum forming part(120), a hydrogen peroxide supply part(140), and a microwave plasma generation part(150). The sterilization reactor sterilizes a treating object. The vacuum formation unit comprises a vacuum pump(121) which is connected to the sterilization reactor and forms inside the sterilization reactor into a vacuum state. The hydrogen peroxide supply part supplies hydrogen peroxide in a gas state which can be supplied into a sterilization reactor. The microwave plasma generation part generates plasma by using microwaves.본 발명은 의료용 건식 멸균기에 적용 가능한 멸균 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 과산화수소와 마이크로웨이브를이용하여 멸균에 효과적인 OH 라디칼을 생성하여 피처리물의 멸균을 달성하기 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 피처리물에 대한 멸균처리가 수행되는 멸균 반응기； 상기 멸균 반응기와 연결된 진공 펌프를 구비하며 상기 멸균 반응기의 내부를 진공 상태로 만드는 진공 형성부； 상기 멸균 반응기 내부로 공급되는 기체상태의 과산화수소를 제공하는 과산화수소 공급부； 및 마이크로웨이브를 이용하여 플라즈마를 발생시키는 마이크로웨이브 플라즈마 발생부를 포함하며, 상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부는 마이크로웨이브를 발생시키는 전자파발생원과, 상기 전자파발생원으로부터 발생한 마이크로웨이브를 상기 멸균 반응기 쪽으로 전달하는 마이크로웨이브 가이드와, 상기 전자파발생원으로부터 발생한 마이크로웨이브를 상기 멸균 반응기 내부로 전달하는 유전체 창을 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브를 이용한 의료용 멸균장치가 제공된다.
