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APPARATUS FOR THE WEIGHT-COMPENSATING MOVABLE SUSPENSION OF A FOCUSSING OBJECTIVE OF A LASER DEVICE
专利权人:
WAVELIGHT GMBH;웨이브라이트 게엠베하
发明人:
ROBL GERHARD,로블 게르하르트
申请号:
KR1020127025909
公开号:
KR1020130028907A
申请日:
2010.03.03
申请国别(地区):
KR
年份:
2013
代理人:
摘要:
An apparatus for the weight-compensating movable suspension of a focussing objective (12) of a laser device (10) comprises a force generating arrangement for generating a counterforce component (G) counteracting the weight force of the focussing objective (12), a transmitting arrangement that transmits the counterforce component (G) to the focussing objective (12) and as an up/down compensation movement of the focussing objective, and a guide arrangement for movably guiding the focussing objective, in such a way that during an up/down compensation movement of the focussing objective (12) an optical axis (O) thereof maintains at least its spatial orientation and preferably its spatial position.레이저 시스템(10)의 집속 대물렌즈(12)의 무게 보상 및 이동 가능한 현수 장치는, 집속 대물렌즈(12)의 무게 중력에 반작용하는 대항력 성분(G)을 발생시키는 힘 발생 장치, 집속 대물렌즈의 상승/하강 보상 이동으로 집속 대물렌즈(12)에 대항력 성분(G)을 전달하는 전달 장치, 및 집속 대물렌즈(12)의 상승/하강 보상 이동시에 집속 대물렌즈의 광축(O)이 적어도 광축의 공간적인 방향 및 바람직하게는 광축의 공간적인 위치를 유지하는 방식으로 집속 대물렌즈를 이동 가능하게 안내하기 위한 안내 장치를 포함한다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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