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OPTICAL CONSTANT MEASURING DEVICE AND OPTICAL CONSTANT MEASURING METHOD
专利权人:
ソニー株式会社;SONY CORP
发明人:
KISHII NORIYUKI,岸井 典之,KISHIMOTO TAKUYA,岸本 拓哉
申请号:
JP2017092919
公开号:
JP2018187143A
申请日:
2017.05.09
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical constant measuring device in which an optical constant of a workpiece can be measured more conveniently even if it is the workpiece difficult to make a uniform sample.SOLUTION: An optical constant measuring device includes: a light source unit 10 for emitting irradiation light of a predetermined wavelength applied to a workpiece; a measuring probe 20 where a light-sending optical fiber 203 for sending irradiation light to a workpiece and multiple light receiving optical fibers 205A-C for receiving the returning light of the irradiation light from the workpiece have bundle fibers 201 bundled so that two or more values different from each other may exist as a separation distance between the light-sending optical fiber and one light receiving optical fiber, and one end of the bundle fibers is brought into abutment with the workpiece; a detection unit 30 for detecting the return light intensity of the irradiation light received by the multiple light receiving optical fibers for each light receiving optical fiber; and an arithmetic processing unit 40 for calculating the optical constant of the workpiece by using the detection value of the return light intensity in each light receiving optical fiber.SELECTED DRAWING: Figure 6【課題】均一な試料を作成することが困難な被測定物であっても、被測定物の光学定数をより簡便に測定することが可能な光学定数測定装置を提供する。【解決手段】被測定物に対して照射される所定波長の照射光を出射する光源部10と、照射光を被測定物へと送光する送光用光ファイバ203、及び、被測定物からの照射光の戻り光を受光する複数の受光用光ファイバ205A~Cが、送光用光ファイバと一つの受光用光ファイバとの間の離隔距離として、互いに異なる2以上の値が存在するようにバンドルされたバンドルファイバ201を有し、バンドルファイバの一方の端部が被測定物に対して当接される測定プローブ20と、複数の受光用光ファイバで受光された照射光の戻り光の強度を、それぞれの受光用光ファイバごとに検出する検出部30と、それぞれの受光用光ファイバでの戻り光の強度の検出値を用いて、被測定物の光学定数を算出する演算処理部40と、を備える。【選択図】図6
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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