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エンコーダ装置及びその使用方法、光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法
- 专利权人:
- 株式会社ニコン
- 发明人:
- 劉 志強
- 申请号：
- JP20150208685
- 公开号：
- JP2017083509(A)
- 申请日:
- 2015.10.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】回折格子を用いて計測する際に、格子パターン面に微小な凹凸等の形状誤差がある場合の計測誤差の発生を抑制する。【解決手段】第１部材６及び第２部材の相対移動量を計測するエンコーダであって、第１部材６に設けられた回折格子１２と、計測光ＭＬ及び参照光を発生するレーザ光源と、第２部材に設けられるとともに、回折格子１２から計測光ＭＬによって発生する＋１次回折光ＤＸ１を格子パターン面１２ｂに入射させるコーナーキューブ２４Ａと、回折格子１２から＋１次回折光ＤＸ１によって発生する＋１次回折光ＥＸ１と参照光ＲＸ１との干渉光を検出する光電センサ４０ＸＡと、回折格子１２から＋１次回折光ＤＸ１によって発生する−１次回折光ＥＸ３と参照光ＲＸ３との干渉光を検出する光電センサ４０ＸＣと、を備える。【
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
