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エンコーダ装置及びその使用方法、光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法
- 专利权人:
- 株式会社ニコン
- 发明人:
- 劉 志強
- 申请号：
- JP20150208686
- 公开号：
- JP2017083510(A)
- 申请日:
- 2015.10.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】回折格子を用いて計測する際に、計測の分解能を高めるとともに、回折格子の表面に微小な凹凸がある場合でも計測精度を高く維持する。【解決手段】第１部材６に対する第２部材７の相対移動量を計測するエンコーダ１０であって、第１部材６に設けられた２次元の回折格子１２と、計測光ＭＬ１及び参照光ＲＸ１を発生するレーザ光源１６と、計測光ＭＬ１を回折格子１２の計測点ＥＰ１に入射させるＰＢＳ部材１８と、第２部材７に設けられるとともに、回折格子１２から計測光ＭＬ１によって発生する＋１次回折光ＭＸ１を、回折格子１２の計測点ＥＰ１に入射させるコーナーキューブ２４ＸＡと、回折格子１２から回折光ＭＸ１によって発生する＋１次回折光ＭＸ２と、参照用の回折光ＲＸ２との干渉光を検出する光電センサ４０ＸＡと、
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
