PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently produce dry food etc. in which many flavors and components etc. of materials remain.SOLUTION: A vacuum dryer 1 using both steam and microwaves includes: a drying chamber body 5 having an opening 3 storing a dried object A and a support structure 79 with a weighing device 71 weighing the stored dried object A an opening/closing door 7 closing the opening 3 of the drying chamber body 5 a microwave irradiation device 9 irradiating the dried object A with microwaves to dry it a steam supply device 601 supplying steam to the dried object A to heat and sterilize it and a decompression device 301 causing inside of the drying chamber body 5 to have decompressed atmosphere.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】素材が持つ風味や成分等を多く残存させた乾燥食品等を効率良く製造する。【解決手段】本発明の蒸気・マイクロ波併用減圧乾燥機1は、被乾燥物Aを収容する開口部3と収容した被乾燥物Aの重量を計測する重量計測器71を有する支持構造79とを備えた乾燥室本体5と、乾燥室本体5の開口部3を閉塞する開閉扉7と、被乾燥物Aにマイクロ波を照射して乾燥させるマイクロ波照射装置9と、被乾燥物Aに蒸気を供給して加熱・殺菌する蒸気供給装置601と、乾燥室本体5内を減圧雰囲気にする減圧装置301と、を具備することによって構成されている。【選択図】 図1