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表面波プラズマ源における操作不安定性検出のための方法
- 专利权人:
- 東京エレクトロン株式会社
- 发明人:
- セルゲイ ヴォロニン,ジェイソン マリオン,アロック ランジャン
- 申请号：
- JP20170127104
- 公开号：
- JP2018006343(A)
- 申请日:
- 2017.06.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】表面波プラズマ源における操作不安定性検出のための方法およびシステムを提供すること。【解決手段】表面波プラズマ源における操作不安定性検出のための方法およびシステムが提供される。態様において、プラズマプロセシングのためのシステムには、プラズマ場を発生させるように構成された表面波プラズマ源が含まれてもよい。システムにはまた、表面波プラズマ源の近傍の領域で回収される光学エネルギーを特徴づける情報を生成するように構成された光学センサが含まれてもよい。さらに、システムには、光学センサにより生成された情報に応答して表面波プラズマ源の近傍の不安定性の領域を検出するように構成されたセンサ論理ユニットが含まれてもよい。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
