過熱水蒸気生成装置及び過熱水蒸気生成装置を用いた処理方法
- 专利权人:
- トクデン株式会社
- 发明人:
- 外村 徹,北野 孝次,藤本 泰広
- 申请号:
- JP20160148067
- 公开号:
- JP2017078564(A)
- 申请日:
- 2016.07.28
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】被処理物に生じる結露を防ぐ。【解決手段】水から水蒸気を生成する誘導加熱方式又は通電加熱方式の水蒸気生成部2と、水蒸気から過熱水蒸気を生成する誘導加熱方式又は通電加熱方式の過熱水蒸気生成部3と、水蒸気生成部2により生成された水蒸気を過熱水蒸気生成部3に供給する水蒸気供給流路L1と、他の気体を過熱水蒸気生成部3に供給する気体供給流路L2とを備え、過熱水蒸気生成部3に水蒸気が供給される第1状態、又は、過熱水蒸気生成部3に他の気体が供給される第2状態に切り替え可能に構成した。【選択図】図1
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