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具有磁性的悬浮编码微块阵列芯片的制备方法及应用方法
- 专利权人:
- 天津大学
- 发明人:
- 高鹏,姚素英,吴元庆,高静,徐江涛
- 申请号：
- CN200910308751.9
- 公开号：
- CN101693514A
- 申请日:
- 2009.10.23
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2010
- 代理人:
- 温国林
- 摘要：
- 一种具有磁性的悬浮编码微块阵列芯片的制备方法及应用方法。制备方法：1)选用5片相同的硅片清洗、烘干；2)涂PMMA胶；3)热压印；4)利用氧等离子体反应离子刻蚀，调整胶的厚度为10～20nm；5)真空蒸镀钛80～100nm和金50～60nm，钛作为粘附及牺牲层；6)真空蒸镀镍10～15nm作为粘附层；7)真空蒸镀铜1200～1250nm；8)电子束蒸发镍30～50nm；9)真空蒸镀金50～60nm；10)去胶剥离，悬浮微块阵列芯片释放。应用方法：1)清洗金块；2)由11-巯基羧酸在金块上形成单分子层；3)生物大分子标记金块；4)荧光检测。本发明制备出的芯片具有超顺磁特性，从而为生物修饰及生物磁分离创造了条件。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
