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プローブ及び測定システム
专利权人:
KONICA MINOLTA ADVANCED LAYERS INC
发明人:
TAO SHOICHI,田尾 祥一
申请号:
JP2011155607
公开号:
JP2013017768A
申请日:
2011.07.14
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe and a measuring system, which prevent an adverse effect of light reflected by an optical unit, such as a lens or holder, on measurement of measurement light.SOLUTION: The probe 10 that has a linear form and has a leading end receiving measurement light emitted from an object to be measured to which illumination light has been emitted, includes: a flexible tube 11 the holder 15 provided at a leading end of the flexible tube 11 a vibration actuator 13 provided at the leading end of the flexible tube 11 a leading end face 17a of an optical fiber 17 and an optical system 16 whose relative position is fixed by a holder 15, wherein the holder 15 is vibrated by the vibration actuator 13.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】レンズやホルダー等の光学ユニットによって反射された反射光が測定光の測定に悪影響を及ぼさないプローブ及び測定システムを得る。【解決手段】線状に形成され、照射光が照射された測定対象物から発せられる測定光を先端部で受光するプローブ10は、可撓性チューブ11と、可撓性チューブ11の先端部に設けられたホルダー15と、可撓性チューブ11の先端部に設けられた振動アクチュエータ13と、ホルダー15により相対位置が固定された光ファイバー17の先端面17a及び光学系16と、を備え、振動アクチュエータ13によりホルダー15を振動させるプローブとする。【選択図】図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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