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硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機ＥＬ表示装置
- 专利权人:
- 富士フイルム株式会社
- 发明人:
- 佐竹 亮,米澤 裕之
- 申请号：
- JP20140551117
- 公开号：
- JPWO2014088018(A1)
- 申请日:
- 2013.12.04
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 硬化膜の解像力を向上させることができる硬化膜の製造方法を提供する。（１）感光性樹脂組成物を基板に塗布する工程、（２）感光性樹脂組成物から溶剤を除去する工程、（３）ｐＫａが３以下の溶液で、溶剤が除去された感光性樹脂組成物を洗浄する工程、（４）感光性樹脂組成物を活性光線により露光する工程、（５）露光された感光性樹脂組成物を水性現像液により現像する工程、および、（６）現像された感光性樹脂組成物を熱硬化するポストベーク工程、を該順に含み、前記感光性樹脂組成物は、（Ａ１）（ａ１）酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位、および（ａ２）架橋性基を有する構成単位、を有する重合体、（Ａ２）（ａ１）酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位を有する重合体、および（ａ２）架橋性基
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
