一种高温声表面波温度传感器
- 专利权人:
- 中国科学院微电子研究所
- 发明人:
- 李冬梅,周磊,梁圣法,谢常青,刘明
- 申请号：
- CN201410645065.1
- 公开号：
- CN104359584A
- 申请日:
- 2014.11.12
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 任岩
- 摘要：
- 本发明公开了一种高温声表面波温度传感器，该高温声表面波温度传感器包括：衬底；在衬底之上形成的压电薄膜；在该压电薄膜的部分之上形成的金属电极；以及覆盖于未形成金属电极的压电薄膜之上及该金属电极之上的保护层。本发明通过在压电薄膜和金属电极表面沉积覆盖一层保护层，解决了高温环境中压电薄膜和金属电极的退化问题，增强了器件对高温的耐受能力，同时隔绝了外界环境对器件表面的腐蚀，延长了传感器在高温环境中的工作时间。本发明结构简单、易于制作并对高温较强的耐受性，因此适用于石油化工、航空航天、机械冶金等领域所涉及高温环境中的温度测量。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
