一种声表面波湿敏传感器的制备方法
- 专利权人:
- 浙江大学
- 发明人:
- 陈裕泉,雷声,郭希山,陈大竞
- 申请号：
- CN201010208236.6
- 公开号：
- CN101893604B
- 申请日:
- 2010.06.24
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 连寿金
- 摘要：
- 一种声表面波湿敏传感器的制备方法，其特征在于采用如下步骤：A)根据需要的成膜区域设计声表面波谐振器参数并使用精密光刻技术加工高频声表面波元件；B)配制浓度为10～20mg/ml的聚电解质预聚液作为感湿材料；C)使用专用的静电喷雾器及与成膜区域、预聚液浓度相匹配的静电喷雾参数在声表面波器件表面待成膜区域形成具有微纳尺度的聚电解质粒子簇薄膜作为感湿膜；D)高温加热后完成声表面波湿敏传感器的制备。采用该方法制备的湿敏传感器具有如下优点：1)灵敏度高；2)吸湿-脱湿速度快；3)检测范围大；4)重复性好等。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
