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テラヘルツ波を用いたリアルタイム非接触非破壊厚さ測定装置
- 专利权人:
- コリア リサーチ インスティチュート オブ スタンダーズ アンド サイエンス
- 发明人:
- イー デ−ス,ヤン ジ サン
- 申请号：
- JP20150212109
- 公开号：
- JP2017015681(A)
- 申请日:
- 2015.10.28
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】試験片の厚さを測定することができるテラヘルツ波を用いたリアルタイム非接触非破壊厚さ測定装置を提供する。【解決手段】波長固定レーザー１００と波長掃引レーザー２００は、カプラー３００に入力され、形成された混合光は、テラヘルツ波を発生する発生器４００に入力され、また、発生器４００から放出されてサンプル５００を透過又は反射したテラヘルツ波が入力される検出器６００に入力され、且つ検出器６００では混合光によって励起される光キャリア（ｐｈｏｔｏｃａｒｒｉｅｒ）がテラヘルツ波の電場によってバイアスされて光電流を生成する。データ取得部７００は、光電流をデジタルデータの形態で取得して演算部８００に出力する。演算部８００は、データ取得部７００が出力したデータを周波数領域データに変換し、周
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
