PROBLEM TO BE SOLVED: To generate X-rays which are as quasi-monochromatic as possible with high radiation intensity and a largest possible irradiation range.SOLUTION: This X-ray apparatus includes a point-like X-ray source 2 for radiating multicolor X-rays 5, and a diffracting apparatus for diffracting the multicolor X-rays 5 to generate quasi-monochromatic X-rays for irradiating a subject to be examined. The diffracting apparatus includes a super mirror 1 made of a crystal material and having a flat surface 12, and the crystal material in the super mirror 1 has at least one continuous change in lattice spacing of a crystal lattice. The X-ray source 2 and the diffracting apparatus are arranged to generate quasi-monochromatic X-rays by Bragg reflection at the super mirror 1 from a part of the multicolor X-rays 5.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】高い放射強度および可能な限り大きな照射範囲を有する可能な限り準単色のX線を発生させる。【解決手段】検査対象に照射するための準単色X線を発生するために、多色X線5を放射するための点状のX線源2と、多色X線5を回折させるための回折装置とが設けられ、回折装置が、結晶材料からなり平らな表面12を備えたスーパーミラー1を有し、そのスーパーミラー1において結晶材料が結晶格子の格子面間隔の少なくとも1つの連続的な変化を有し、X線源2および回折装置は、多色X線5の一部からスーパーミラー1でのブラッグ反射によって準単色X線が発生されるように配置されている。【選択図】図3
