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過酸化水素ガスの分解除去方法および分解除去装置
- 专利权人:
- 日本エアーテック株式会社
- 发明人:
- 大塚 陽介,後藤 浩,平沢 真也
- 申请号：
- JP20160152611
- 公开号：
- JP2018019884(A)
- 申请日:
- 2016.08.03
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】作業環境室内の過酸化水素ガスを短時間で低濃度に分解除去できる過酸化水素ガスの分解除去方法および分解除去装置を提供する。【解決手段】過酸化水素ガスを触媒１３によって分解除去する分解除去工程と、作業環境室１０内を結露しない程度に加湿する加湿工程と、を含むので、分解除去工程で過酸化水素ガスを触媒１３によって分解除去するとともに、加湿工程で作業環境室１０内を結露しない程度に加湿することにより、水蒸気分圧を増やし作業環境室１０内の過酸化水素の分圧が増え易い状態として作業環境室１０内の壁面やその他の部材に付着している過酸化水素の離脱を促進して過酸化水素ガスとし、この過酸化水素ガスを分解除去工程で触媒によって分解除去できるので、作業環境室１０内の過酸化水素ガスを短時間で低濃度に分
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
