An ultrasonic device includes a transducer array (404) formed on a first side of a substrate (402). A through via (406) penetrates the thickness of the substrate between the first side and the second side opposite the first side. A conductor (410) is electrically coupled to the through via on the second side to provide a signal to and from the transducer array.超音波デバイスが基板(402)の第1の側に形成される変換器アレイ(404)を含む。貫通ビア(406)が第一の側と第1の側と反対の第2の側との間の基板の厚さを貫通する。導体(410)が第2の側で貫通ビアに電気的に結合されて、変換器アレイに信号を提供し、変換器アレイから信号を提供する。