I want to reduce the artifacts due to transverse waves that occur in the substrate of a capacitive micromachined ultrasonic transducer. By using for the best range of the substrate thickness of the ultrasonic transducer, to attenuate the transverse wave was radiated to the outside efficiently the energy of the transverse wave in the sensitivity band 91 of the ultrasonic transducer, and to reduce the artifacts in ultrasound imaging .静電容量型マイクロマシン超音波トランスデューサの基板に発生する横波によるアーチファクトを低減する。超音波トランスデューサの基板厚を最適な範囲に設定し、超音波トランスデューサの感度帯域91内の横波のエネルギーを効率的に外部に放射し横波を減衰させることで、超音波撮像におけるアーチファクトの低減を図る。
