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制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器
- 专利权人:
- 沈阳慧宇真空技术有限公司
- 发明人:
- 董毅
- 申请号:
- CN200610046300.9
- 公开号:
- CN1827230A
- 申请日:
- 2006.04.13
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2006
- 代理人:
- 刘忠达
- 摘要:
- 制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器,包括喷雾头、金属源进气管、气帘进气管、氢化物进气管、冷却水管、气帘板、栅网。所述的喷雾头由第一层气室连接第二层气室,第二层气室连接水套,金属源喷雾管连接第二层气室,氢化物喷雾管连接第二层气室构成一个整体喷雾头。栅网和气帘板分别固定在喷雾头下面。金属源进气管固定连接在第二层气室上并相通,氢化物进气管固定连接在第一层气室并相通,气帘进气管固定连接在喷雾头两侧上与气帘板围成的空间相通,冷却水管固定连接水套。喷雾头通过法兰固定在MOCVD真空室中,构成制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。优点是叠层结构均匀,叠层界面清晰,无相互扩散,使成模技术指标质量提高一个等级,可提高电池的光电转换效率。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/