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微环谐振腔内嵌FP腔的光学生化传感芯片
- 专利权人:
- 电子科技大学
- 发明人:
- 王卓然,袁国慧,高亮
- 申请号：
- CN201310330534.6
- 公开号：
- CN103575698B
- 申请日:
- 2013.07.31
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 周永宏
- 摘要：
- 本发明为了解决某些生物化学物质的探测问题，提出了一种微环谐振腔内嵌FP腔的光学生化传感芯片，该芯片在SOI基体的单晶硅层上包含输入/输出直波导和第一谐振腔，第一谐振腔为环状波导构成的微环谐振腔，在微环谐振腔的环状波导上还包含光栅FP腔，FP腔的光栅被刻蚀在所述微环谐振腔的环状波导上。通过采用上述结构，本发明的光学生化传感芯片在达到相同传感性能的条件下，减小光学生化传感芯片的体积，有利于实现光学生化传感器的微型化与片上传感系统。可用于生物大分子（蛋白质或者是DNA）液体样本探测和气体分子检测。与其他的生化传感芯片相比具有制作工艺标准化、便于集成化、传感性能优良及适用范围广等一系列特点。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
